Gigaphoton将在SPIE Advanced Lithography + Patterning 2023大会发布技术解决方案

公司将在半导体光刻技术盛会上发表论文

日本小山市--(美国商业资讯)--半导体光刻光源制造商Gigaphoton株式会社（总部：栃木县小山市，董事总经理兼首席执行官：Katsumi Uranaka）将参加于太平洋标准时间2023年2月26日（星期日）至3月2日（星期四）在加州圣何塞举行的SPIE Advanced Lithography + Patterning 2023大会。 

Gigaphoton将介绍助力提高产能的前沿技术，以及基于DUV光源技术可持续性解决方案。此外，Gigaphoton还将介绍EUV光源的研发进展。 

* 如果您希望在您的材料中引用这些论文，请联系我们。